Газы  [ Вернуться  Производство полупроводников  ]

Азот

N₂ используется как газ-носитель для защиты от загрязнений и окисления в полупроводниковой промышленности и в процессах пайки. В своей холодной, жидкой форме он используется  в качестве охлаждающей среды при  испытаниях электронных устройств на воздействие окружающих условий.

Аргон

Аргон  используется в полупроводниках в качестве газа-носителя и инертного газа. Он применяется также как технологический газ для  металлизации напылением, реактивного ионного травления и обработки в плазме.

Водород

H₂ используется в качестве газа-носителя в полупроводниковых процессах и как газ-очиститель в атмосфере пайки, а также для отжига медных пленок. Использование  формир-газов (H₂ разведенный в  N₂) позволяет  полностью исключить кислород и связанные с ним неудобства при процессах, протекающих при средней или высокой  температуре.

Кислород

O₂ используется как сверхчистый газ для окисления некоторых материалов, например, Si в SiO₂, или озоления фоторезистов и для получения оксидов, сформированных химическим осаждением из паровой фазы. Он применяется также  для получения озона  для окисления или очистки.

Двуокись углерода

CO₂ применяется в нескольких областях электронной промышленности.  Она используется при обработке сточных вод, в качестве охлаждающей среды при испытаниях  электронных устройств на воздействие окружающих условий. Ее можно применять для придания электропроводности сверхчистой воде, для  абразивной чистки или для удаления загрязнений  с плат с помощью снега из двуокиси углерода. CO2 может также служить в качестве безвредной для окружающей среды сверхкритической жидкости для удаления фоторезиста с плат, что позволяет избежать использования органических растворителей.

Сверхчистые специальные газы

AIR LIQUIDE Электроникс поставляет тысячи баллонов для ESG , что составляет более 250 различных модулей!

• Материалы для баллонов
Баллоны из углеродистой стали могут использоваться практически для любого сжатого газа
Преимущества алюминия заключаются  в небольшом весе и чистоте  внутренней поверхности; он используется лишь для определенных газов  
Нержавеющая сталь предназначена   для специальных областей применения (WF6, ClF3)
Баллоны из углеродистой стали с никелевым покрытием методом химического осаждения используются преимущественно для  корродирующих веществ,  для которых требуется  строгое соблюдение чистоты металла.

• Подготовка поверхности

Чтобы обеспечить качество и чистоту изделий, необходима соответствующая технология подготовки поверхности.

• Клапаны
AIR LIQUIDE  Европа  использует как  традиционные  клапаны с набивкой, так и мембранные клапаны.

• Подключение

Основные подключения - через  CGA, CGA-DISS, DIN или соединения  NF.