Оборудование  [ Вернуться  Производство полупроводников  ]

Чтобы соответствовать требованиям спецификаций заказчика с точки зрения качества, надежности и безопасности, AIR LIQUIDE  предлагает комплектную линию  FabStream™.

Современная конструкция газовых шкафов

Предлагаемые  компанией наиболее  современные системы имеют  блочную конструкцию, обеспечивающую возможность удобного   обслуживания и ремонта, эксплуатации и  модернизации отдельных блоков. При проектировании производственной линии  FabStream™ ставилась задача обеспечить ее эффективное использование, она включает в себя  две  газовые панели современных типов FabStream™ RPV (уменьшенный объем продувки) и FabStream™ MPV (Средний  объем продувки). Контроллер с пультом оператора с сенсорным экраном  обеспечивает постоянную подачу газа и поддерживает оптимальное  качество газа, инициируя  точные циклы продувки. Он управляет также всеми функциями безопасности и обеспечивает  надежное функционирование системы распределения. 

... также для сжиженных газов

Для оптимизированного распределения  сжиженных газов AIR LIQUIDE  рекомендует газовые шкафы FabStream™ AVP (паровая фаза). Эта запатентованная технология предназначена для подачи  большого объема паров специальных газов, при этом особого внимания заслуживает увеличение времени безотказной работы, обеспечение чистоты технологического газа и  более низких расходов на приобретение оборудования и его эксплуатацию. Возможность автоматического переключения  оборудования  обеспечивает  непрерывный процесс подачи газа к установке.

Контроллер  FabStream™ AVP осуществляет непрерывный  мониторинг  технологических  параметров, чтобы обеспечивать распределение  в газовой фазе. Кроме того, контроллер инициирует  автоматическую продувку оборудования и производственных линий для технологических газов.

• Оптимизированные  панели компонентов

Для использования основных методов  распределения специальных газов AIR LIQUIDE предлагает газовые шкафы FabStream™ OCP (оптимизированная панель компонентов) с панелью упрощенной конструкции и системами управления.  

Этот экономичный  микроконтроллер системы контролирует соблюдение  всех мер безопасности, он сочетает в себе функцию авто-переключения  и выполнения последовательности простых автоматических операций  продувки, требующихся для  безопасной замены баллонов.

Большая величина расхода  и  высокая надежность

Для технологических газов, таких как  HCl, силан, N2O и др. при  большой величине расхода 
AIR LIQUIDE рекомендует  систему подачи больших объемов FabStream™. Эта система  является эффективной альтернативой  классическим газовым шкафам, она имеет  несколько значительных  преимуществ, включая :

• сокращение капитальных затрат
• повышение надежности и безопасности посредством  уменьшения числа  замен баллонов и числа  критических компонентов
• уменьшение числа операций обслуживания

Универсальная плазменная системадляустранения загрязнений   вместепроведения  процессовтравления ... наилучшее экологическибезвредноесредстводля разрушения  PFC (перфторидныхсоединений)до безвредного для окружающей среды уровня. Области применения : SF6, C4F8, CHF3, C3F8, C2F6, NF3, CF4, и т.д. ...

 • Высокая эффективность устранения загрязнений PFC(перфторидных соединений)
• 99.5 % для большинства PFC даже при высокой величине  расхода,
• Плазма при атмосферном давлении: широкий диапазон характеристик согласования полных сопротивлений и изменений процесса или  интенсивности отклонений; отличные  характеристики настройки (время нахождения газа в установке/длина плазменного шнура-мощность),
• Оптимизация неравновесной химической плазмы для обеспечения эффективного разрушения  PFC без образования типичных нежелательных   продуктов реакции при высокой температуре  наподобие  NOx и т.д. ...

• Низкие затраты  и эксплуатационные расходы

• Минимальные потребности в энергоносителях: электроэнергия и воздух
• Отсутствие потребностей в топливе и  катализаторе
• Техническое обслуживание небольшого объёма: высокая надежность диэлектрической газоразрядной трубки и диэлектрической охлаждающей жидкости
• Повторное использование воды для охлаждения

• Интеграция без дополнительных устройств связи

• Небольшая площадь установки
• Система откачки: отсутствие  вмешательства в процесс (во время работы и/или текущего ремонта и обслуживания); высокая надежность: нет опасности для  турбонасоса, отсутствуют едкие  побочные продукты, проходящие через «сухой» насос
• Небольшой перепад давления (менее 30 мбар - 100 slm (норм. л/мин) : отсутствие влияния на насосную систему нагнетания
• Обводная система : прямой поток из «сухого» насоса в коллектор отработанных газов, если это необходимо (текущий ремонт и обслуживание насосов и т.д..)

 
• Модульная конструкция

• До 120 slm (норм. л/мин) (общий расход)
• Опцион: конструкция мультиплазменных трубок для  разрушения  большего количества  PFC (перфторидных соединений)

Большая величина расхода для  едких веществ высокой чистоты и растворителей

Для того, чтобы удовлетворить потребности заказчика в  высокой чистоте и  большой величине расхода едких веществ  и растворителей в месте их использования , AIR LIQUIDE рекомендует  FabChem™ BCDS-PG с применением  запатентованной технологии разницы давлений,  при которой производится распределение химикатов под давлением азота.

Эта безопасная и оправдавшая себя  концепция  отличается легкостью обслуживания оборудования, она  широко использовалась для  самых разнообразных  химикатов, включая  вязкие кислоты и проявители. Использование встроенной  интеллектуальной диагностической системы, современного  оборудования для распределения химикатов компании AIR LIQUIDE обеспечивает высокую надежность за счет диагностики отказов компонентов и инициирования автоматических резервных режимов. В результате  , FabChem™ BCDS-PG гарантирует  оптимальное время безотказной работы  более чем в 99,9% случаев.

• Средняя и низкая величина расхода для химикатов  средней чистоты

Для этих целей AIR LIQUIDE  предлагает две технологии:

FabChem™ BCDS-DT, основанную на использовании резервуара временного хранения с азотом для распределения под давлением
FabChem™ BCDS-PU с использованием насоса
Обе эти экономичные системы имеют отличную надежность.

• Распределение суспензий

Для удовлетворен6ия потребностей  заказчиков в обеспечении необходимой величины давления и расхода  для суспензий всех типов (оксиды, вольфрам, медь и т.д.), AIR LIQUIDE  разработала  FabChem™ CMP, гибкую блочную производственную линию, в которой  используется  технология распределения, основанная на использовании разницы давлений. В сочетании с нашей  запатентованной  конструкцией контура распределения это инновационное решение обеспечивает постоянный,  стабильный расход  в каждой точке использования. Измерительный модуль распределительного оборудования  измеряет плотность, pH, и/или  распределение частиц в суспензии. Кроме того, производится необходимый контроль и регулирование анализа H2O2.

• Разбавление едких веществ

Чтобы помочь заказчику  снизить  расходы на покупку и эксплуатацию оборудования для распределения разбавленных химикатов, AIR LIQUIDE предлагает установку  FabChem™ DIL. Система разбавления  отдельными партиями рекомендуется  для низких объемов, в то время как метод  непрерывного  разбавления при смешивании предпочтителен при больших объемах. Обе технологии обеспечивают  соответствующие концентрации и производят очень точно составленные смеси. Инновационная методика разработки программного обеспечения  и анализ проводимости в режиме «он-лайн» способствуют  точному регулированию концентрации.

Конструкция системы CANDI упрощает ее эксплуатацию, текущий ремонт и обслуживание. Она оснащена современным контроллером, обеспечивающим полную автоматизацию процесса управления.

Система CANDI: современная усовершенствованная конструкция

Для обеспечения полной безопасности оператора и гарантии работоспособности установки были предприняты специальные меры. Система  CANDI оснащена  большим количеством  устройств обеспечения безопасности с использованием новейших технологий: датчики утечки, реле давления, детекторы открывания дверей, детекторы газов и системы пожаротушения ( опционы) и т.д. Система CANDI полностью отвечает требованиям  международных правил и положений, она сертифицирована на соответствие  SEMI S2 (европейских электронных стандартов)  и  прошла испытания  CEM, она соответствует требованиям  CE (европейских стандартов качества).Текущий ремонт и обслуживание осуществляются быстро, обеспечивается легкий доступ   ко всем компонентам  со стороны передней дверцы. Для еще большего упрощения управления  стандартные  операции технического обслуживания и ремонта запрограммированы  в ПЛК, они инициируются через  сенсорный экран. Оптимально  спроектированный корпус отвечает потребностям  заказчика.

Инновационная технология распределения

Благодаря инновационной технологии распределенияAIR LIQUIDE  данному оборудованию отдается предпочтение при выборе оборудования  для  системы. Специальные современные параметры системы CANDI гарантируют качество химикатов на выходе системы.

Для подачи химикатов  на производственные линии  и для заполнения резервуара временного хранения  из контейнера с химикатами, используется технология распределения, основанная на избыточном давлении гелия. Так как при замене контейнера для химикатов процесс  распределения не прерывается, давление при дозировании остается постоянным независимо от  скорости потребления жидкости.

В сложном устройстве продувки системы жидкость, которая должна подвергаться продувке, испаряется за счет вакуума ниже давления паров. Более эффективное испарение достигается  путем нагрева коллектора  контейнера с химикатами. До и после замены каждого  контейнера запускаются циклы изменения давления и вакуума, обеспечивая безопасную работу  и препятствуя  проникновению загрязнений.

Предлагаются опционы, такие как  дегазационный модуль, используемый для  удалении растворенного  в жидкостях He.

• Подача жидкостей с высокой надежностью

В системе используются  современные  устройства управления процессом, конструкция оборудования для распределения химикатов обеспечивает полную  гарантию соблюдения  требуемых параметров процесса.

При распределении жидких химикатов обеспечивается продолжительное  время безотказной работы. Большое количество приборов в сочетании с   оптимальной конфигурацией  ПЛК позволяет  CANDI работать  при резервных режимах.

Полностью автоматизированный процесс управления  сводит к минимуму количество образуемых газовых  пузырей и регулирует уровень жидкости  и  давление подачи. Этот процесс широко используется  для  подачи жидких химикатов, таких как  TEOS, TEB, TEPO и TiCl4.

• Раствор для большой величины потребления: система  CANDI

Для того чтобы удовлетворить  потребности заказчика в  большом количестве химических реактивов на месте использования, AIR LIQUIDE  рекомендует  свою о систему  Bulk CANDI.

Система CANDI, в которой используется наша запатентованная  технология распределения, основанная на  разнице давлений,  подает  химикаты к производственным линиям из небольших  резервуаров под давлением, установленных в раздаточном отделении. Эти резервуары  заполняются попеременно из резервуара временного хранения, находящегося под давлением. Такая специальная конфигурация  позволяет использовать  несколько автоматических режимов, которые дают возможность иметь низкий объем  химикатов под давлением.  

Наша современная  технология распределения  предусматривает собственную  встроенную систему  контроля, которая производит диагностику  выхода компонентов из строя и автоматически инициирует  резервные режимы. В результате этого система  Bulk CANDI может обслуживать до  40 установок при оптимальном  времени безотказной работы.

Производственная линия  ALOHA рассчитана на  современные  прекурсоры CVD и ALD для  технологии суб-130 нм с возможностями на уровне несколько тонн материалов  low- k  до нескольких граммов при технологии суб-45 нм, Эта линия  основана на результатах новейших  исследований и разработок.

Прекурсоры  ALOHA  поступают в современной  комплектации , включая  специальные системы подачи, сертифицированные OEM и сверхчистые контейнеры. Они обладают  чрезвычайно  жестко соблюдаемые характеристики, опирающихся на международный аналитический опыт AIR LIQUIDE - BALAZS.

ALOHA имеет также несколько запатентованных технологический решений, таких как HEAD или TSA для низкотемпературного осаждения нитрида кремния, TDEAA в качестве не-пирофорного заменителя TMA или ToRuS для не содержащего C, с высокой адгезией Ru ALD.